Электроника

ВИЗУАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ, метод обнаружения и анализе внешних дефектов изделий электронной техники, возникающих иа разл. этвпвх производстве, осуществляемый оператором с использованием оптич. средств; один из видов контроля качества электронных приборов. Наиболее трудоёмким считается В. к. монолитных и гибридных ИС и особенно кристаллов со сформированными иа них биполярными или МДП-структурами. Обычно контролю подвергаются кристаллы после всех процессов литографии и разделения пластин. Однако часто, исходя из условий технологии изготовления ИС, В. к. кристаллов проводят нв неразделённой ПП пластине.
При В. к. выявляют поверхностные дефекты полупроводниковых пластин, коррозию и отслаивание металлич, плёнок, нестрааленные участки, смещение металлизир. разводки, открытые участки р—п-переходов, смещение слоев при фотолитографии, дефекты напыления резисторов и т. п. При определении дефектов пользуются эталонными образцами ИЭТ, конструкторскими чертежами, фотографиями, операц. картами технологич. процесса; величины отклонений оценивают сравнением с заданными нв чертеже или фотографии   размерами   топологич.   элементов   кристалла.
Осн. техн. средством В. к. является микроскоп; напр., а микроэлектронике широко применяется металлогрвфич. микроскоп ММУ-3. Однако длит, рвбота с микроскопом приводит к быстрой утомляемости зрения контролёра и к снижению качестве контроля. С целью повышения эффективности контроля созданы установки В. к. с ввтома-тич. подачей и съёмом контролируемого образца, программируемым перемещением координатного стола с образцом относительно входного зрачка микроскопа, автомвтмзир. регистрвцией и удалением бракуемых изделий. Особенно перспективны автоматизм р. уствноаки В. к., оснвщённые микропроектором с растровым экраном, дающим достаточно яркое и чёткое изображение, приближающаяся по качеству к изображению, получаемому с помощью микроскопа.