Электроника

РЕНТГЕНОШАБЛОН [от рентгеновское излучение) и нем. Schablone — модель, образец], состоит из тонкой проницаемой для мягкого рентгеновского излучения мембраны с нанесенным на её поверхности маскирующим слоем (покрытием заданной конфигурации, непрозрачным для рентгеновских лучей) и более прочной поддерживающей мембрану основы. Предназначен для передачи изображения элементов интегральной схемы на спой рентге-норезиста путём экспонирования его рентгеновским излучением с дл. волны >—0,2—5,0 нм в процессе литографии. Мембрану Р. изготовляют как из неорганич. материалов (напр., Si, Si О.-, AI.Oi, SiiNi, SiC), так и полимерных (напр., полиимид, полиэтилентерефталат) толщиной, как правило, 1—12 мкм. Для обеспечения механич. прочности Р. мембрана либо закрепляется на кремниевой основе, представляющей собой т. н. ребра жесткости (рис.), либо натягивается на основу в виде рамки (в случае органич. мембраны). Материалом для маскирующего слоя обычно служит золото, толщина этого слоя зависит от дл. волны рентгеновского излучения и составляет 0,2—0,7 мкм. Для улучшения адгезии (сцепления) маскирующего слоя с поверхностью мембраны иногда создают тонкий дополнит, промежуточный слои (напр., хрома толщиной 3—5 нм).
Р. должен иметь высокий контраст пропускания излучения между пробельными и маскирующими участками, малый коэф. термич. расширения, достаточно высокую механич. прочность и износоустойчивость при эксплуатации.