Фотоповторитель

ФОТОПОВТОРИТЕЛЬ, установка для изготовления фотошаблонов путём многократного проецирования (мультиплицирования) изображения фотооригинала в уменьшенном масштабе на фотопластину — основу фотошаблона. В состав Ф входят оптико-механич. устр-во (репродукц. фотокамера) и устр-во управления, размещаемое обычно в отд. блоке или стойке (рис. 1). Фотооригинал, подлежащий репродуцированию, размещается иа манипуляторе и фиксируется в строго определенном положении (рис. 2). Фотопластина (основа будущего фотошаблона) укрепляется нв   координатном   столе   и   перемещается   вместе   с   ним. Периодически в определённых положениях (позициях) на фотопластииу проецируется изображение фотооригинала. Время депонирования (выдержка) и координаты каждой позиции (положение стола) задаются автоматически системой управления в соответствии с программой мультиплицирования, вводимой оператором с пульта устр-ва управления. По окончании экспонирования изображение на фотопластине проявляют и фиксируют — получается готовый фотошаблон. Наиболее совершенные Ф. оснащены системой ввтоматич. фокусировки изображения.
Осн. параметры Ф.: совмещаемость комплекта фотошаблонов (точность расположения изображений по всему полю фотошаблона оценивается по г н базовым меткам) и разрешающая способность (способность оптич системы Ф. создавать раздельные изображения двух близко расположенных элементов фотооригинала). Применяемые в произ-ве ПП приборов и И С Ф. обеспечивают изготовление фотошаблонов на пластинах размером 150Х X •50 мм и более, с размерами модуля (одного изображения фотооригинала) до 20X20 мм и мин. размерами элементов до 0,5 мкм; расхождение фотооригиналов ив разных фотошаблонах не превышает 0,5—1  мкм.