Электроника

ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, тип вакуумного насоса, действие к-рого основано на сорбции газов плёнками химически активного металла, непрерывно осаждаемых на поверхностях насоса при ионной бомбардировке в условиях газового разряда. Наиболее распространён Э. н., имеющий два электрода — ячеистый анод и сплошной сдвоенный катод из Ti, к к-рым приложено высокое пост, напряжение (т. н. диодный Э. и.). Применяется также и Э. н. триодного типа. С целью удлинения траекторий движения эл-нов (что повышает вероятность столкновения эл-нов с атомами остаточных газов) электродная система Э- н. помещена в магн. поле, направленное перпендикулярно плоскости катода. Напряжённости электрич. и магн. полей подбираются так, чтобы после предварит, создания в Э. н. пускового давления (менев 0,1 Па) эл-ны, эмитируемые катодом в результате автоэлектронной и ионно-электронной   эмиссии,   обеспечивали   ионизацию   молекул аза в Э. н. при очень низких давлениях Образующиеся ионы бомбардируют катод и распыляют его,  результате иа электродах Э. н. осаждается непрерывно обновляемая (и поэтому сорбционно активная) плёнка Ti. Откачка с помощью Э. н. химически активных газов происходит вследствие хемосорбции, а инертных газов — «замуровывания» атомов в объёме плёнки в процессе её наслаивания. Быстрота откачки Э. н. существенно зависит от состава откачиваемого газа — высока для активных газов и низка для инертных. Скорость откачки инертных газов диодными Э. н. повышают путём увеличения эффективности ионного распыления активного металла. Э. н. обычно имеют скорость откачки от неск. л/с до нес к. тысяч л/с.
Э. н. широко применяются  проиэ-ве электровакуумных приборов (обеспечивают получение вакуума 10 —10 Па). Малогабаритные Э. н. присоединяются к нек-рым мощным электровакуумным СВЧ приборам для их непрерывной откачки, выполняя при этом одновременно и ф-ции манометра (поскольку величина токв через Э. н. приблизительно пропорциональна давлению). Широкое распространение Э. н. обусловлено простотой и надёжностью в работе (отсутствие движущихся частей, загрязняющих масел), высокой скоростью откачки, высоким предельным разрежением.