Электроника

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ     ОБРАБОТКА,    совокупность способов обработки изделий из металлов, сплавов или полупроводниковых материалов с использованием электрохим. процессов, происходящих на границе металл — электролит (сплав — электролит, полупроводник-электролит) при прохождении через иих пост, электрич. тока. По технологич. возможностям способы Э. о. подразделяют на поверхностные и размерные.
Поверхностная Э. о. основана на явлении растворения материала анода я электролите под действием электрич. тока (анодное растворение). Скорость анодного растворения зависит от расстояния между электродами: чем расстояние меньше, тем интенсивнее растворяется анод. Поэтому при идентичных по форме электродах выступы поверхности анода рестворяются быстрее, чем углубления. Этот принцип лежит в основе таких технологич. операций, как полирование, травление, очистка. Если поверхность анода сравнительно ровная, а катод имеет выступы, то при малом расстоянии между электродами (десятые доли мм) и большой плотности тока (десятки А/см) на поверхности анода образуются выемки, точно повторяющие форму выступов катода. На этом принципе основана размерная Э. о., позволяющая эле-ктролитич. методами изготовлять объёмные детали. Так, при прямолинейном перемещении фигурного катода в теле анода образуется соответствующей формы полость; пользуясь стержневым катодом, можно «вырезать» объёмные детали путём перемещения катода по заданной траектории.
При Э. о. анодом обычно служит само обрабатываемое изделие, а катодом — электрод (инструмент), изготовляемый из антикоррозионного (для данного электролита) материала, напр. из углеродистой стали, латуни, меди. В качестве электролита для поверхностной Э. о. применяют водные р-ры кислот с добавкой хромового ангидрида. Размерная Э. о. выполняется в р-рах хлоридов, нитратов и сульфатов К и Na; одним из наиболее распространённых электролитов является 15%-ный водный р-р NaCI. Изделия из Al, Zn, Pb, Oi обычно обрабатывают в р-рах NaNOg, а из W и Мо — в р-рах NaOH и КОН. Поверхностная Э. о. ведётся при плотностях электрич. тока 0,1—1,0 А/см, размерная — при 60—100 А/см  и более;  рабочее напряжение обычно составляет 10—20 В. Для удаления продуктов растворения — шлама, обновления электролита или его охлаждения применяют принудит, прокачку электролита через рабочую зону под давлением до 4 МПа со скоростью до 60 м/с. С помощью Э. о. достигается шероховатость поверхности 0,2 мкм и точность обработки 0,05 мм.
В электронике способы Э. о. применяют для полирования зеркал оптич. квантовых генераторов, полирования и раэрвэания тонких металлич. лент, уменьшения толщины дефектного слоя ПП пластин, контурного удаления слоя металла с поверхности диэлектрика (напр., при изготовлении печатных плат), обработки деталей из сверхтвёрдых или хрупких материалов, полировки тонкостенных волноводов, изготовления спец. технологич. оснастки (напр., штампов, пресс-форм, литейных форм) и т. д.