Электроника

ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ, установка, предназначенная для получения увеличенного (в 5—10 раз) изображения топологии ИС на промежуточных фотооригиналах или непосредственно на полупроводниковых пластинах. В зависимости от принципа действия и конструкции различают Г. и. оптические и электронно-лучевые.
В оптич. Г. и. наиболее широко используется метод одиночного микрофотонабора, когда изображение создаваемого на стеклянной фотопластине промежуточного фотооригинала формируется последовательным проецированием и экспонированием наборных элементов (световых прямоугольников), размеры и взаимное расположение к-рых можно менять таким образом, чтобы в совокупности они образовывали нужный рисунок. Экспонирование наборных элементов осуществляется в оптико-механич. устр-ве , к-рое содержит источник света, конденсор, наборную диафрагму с двумя парами взаимно перпендикулярных подвижных заслонок (шторок), проекционный объектив и ко-ординв!ный стол. Наборным элементом является щель между шторками диафрагмы. Меняя автоматически размеры щели н поворачивая диафрагму вокруг оптич. оси объектива при соответствующем перемещении координатного стола, можно последовательным экспонированием световых прямоугольников набрать (как мозаику) практически любой требуемый рисунок. Помимо оптнко-механиц. устр-ва в состав Г. и. входит устр-во программного управления, обеспечивающее работу Г. и. в автоматич. режиме.