Электроника

АДСОРБЦИЯ (от лат. ad — на, при и sorbeo — поглощаю), концентрирование вещества (в д с о р б а т а) из объёма газообразной или жидкой среды на поверхности её раздела с жидкостью или твёрдым телом (адсорбентом). А. происходит под действием сил притяжения частиц в-ва (молекул, атомов, ионов) в поверхностном слое адсорбента. В зависимости от характера взаимодействия молекул (атомов, ионов) адсорбента и адсорбата различают физическую и химическую А. Физ. А. не сопровождается хим. изменениями молекул, причём молекулы адсорбата могут мигрировать по поверхности адсорбента. При хим. А. (хемосорбции) происходит существ, изменение электронной структуры адсорбир. молекулы (перенос з вря да, образование хим. связи и т. п.). Адсорбир. молекулы через нек-рое время (время А.) покидают поверхность адсорбента — процесс, обратный А., получивший назв. десорбции. А. широко используется в технологии получения сверхчистых в-в, плёночных структур, для изменения св-в адсорбента (напр., при создании катодов электровакуумных приборов), очистки технологич. газов, а также для поглощения остаточных газов в вакуумных системах.
Н. И. Иоиоя.
АЗОТ (лат. Nitrogenium), N, химический элемент V гр. периодич. системы Менделеева; ат. н. 7, ат. м. 14,01. Газ без цвета и запаха; плотн. 1,25 кг/м ; тпл= —209,9 °С, tHHn= —195,В°С. При обычных условиях химически инертен.
В электронном приборостроении используется гл. обр. в качестве инертной среды во мн. технологич. процессах (напр., при выращивании монокристаллов и эпитаксиальных плёнок, сборке ПП приборов), как газообразный диэлектрик (в герметизир. устр-вах), в составе газовой смеси (в нек-рых газоразрядных приборах); жидкий А. применяется как хладагент для получения и поддержания низких темп-р в крио-электронных устр-вах. Из соединений А. наиболее широко используются нитриды (напр., для изготовления элементов и приборов опто- и акустоэлектроники, для создания диэлектрич. и  защитных покрытий  в  ПП приборах и  ИС).