Электроника

АБЕРРАЦИИ (от пат. aberratio — уклонение, удаление) электронно-оптических систем, искажения изображений, формируемых в электрнч. или (и) магн. полях разл. электронно-оптических сметем. В рамках геометрич. электронной оптики А. определяются как нарушения точечного соответствия между предметом н его изображением, обусловленные неидеальной фокусировкой электронных пучков. В осесимметричиых полях такое точечное соответствие может наблюдаться только в параксиальных (приосевых) пучках. Однако даже в этой области в реальных электрон-но-оптич. системах возникают А., из к-рых наиболее существенны хроматин. А. и осевой астигматизм.
Хроматическая   А.  обусловлена разбросом  начальных скоростей  эл-нов  в плоскости  предмета (немонохроматичностью электронного пучка). Вследствие хроматин. А. в плоскости изображения вместо точки получается пятно (кружок хроматич. рассеяния), форма к-poro зависит от положения точки в плоскости предмета (ее удаления от оси; рис. 1). Хроматич. А. корректируются с помощью неосесимметричных (т. и. квадрупольных) линэ, обладающих как рассеивающим, так и собирающим действием. Осевой астигматизм (А. 1-го порядка) связан с нарушением осевой симметрии электрнч. и магн. полей. Вследствие осевого астигматизма для точки, находящейся на оси системы, на изображении получаются два взаимно перпендикулярных отрезка, расположенных в двух разных сечениях пучка (сагиттальном и меридиональном); изображения в др. сечениях имеют форму эллнпса (рис. 2). Осевой астигматизм может быть исправлен дополнит, неосесиммет-ричными линзами-стигматорами, действие к-рых обратно действию возмущающего поля  корректируемой линзе. В непараксиальных пучках геометрич. А. связаны с нелинейным изменением полей по радиусу пучка. Во мн. осе-симметричиых устр-вах осн. роль играют А. 3-го порядка, к-рые можно вычислить, еелн в уравнениях, описывающих траектории эл-нов, наряду с линейным учесть и нелинейные члены 3-го порядка (кубичные члены) в пространств. разложении полей. К важнейшим геометрич. А. 3-го порядка относятся сферическая А., кома, астигматизм и дисторсив. Первые трн вызывают размытие изображения (рис. 3, 4, 5), дисторсия искажает изображение, не вызывая его размытия (рис. 6). А. 3-го порядка подразделяются иа изотропные, возникающие  чисто электростати ч. полях, и анизотропные, имеющие место при наличии магнитостатич. полей. Геометрич. А. 3-го порядка трудно поддаются исправлению. На практике их чвще всего уменьшают диафрагмированием пучка, хотя это приводит к уменьшению яркости изображения.
Кроме геометрич. А. в электронно-оптич. системах имеет место дифракционная А., обусловленная волновыми св-еами эл-нов.