АНОДИРОВАНИЕ (электрохимическое оксидирование), получение оксидной (окисной) плёнки на поверхности изделий из металлов, сплавов и полупроводников, включённых анодом, при электролизе или в электрич. разряде в кислородсодержащих средах. Образование оксида при А изменяет поверхностные св-ва материалов: электропроводность, твёрдость, термостойкость, износоустойчивость, каталитич. активность и др. Различают А. в электролитах, в расплавах солей, в газоразрядной плазме и плазменио-электролитическое.
А в электролитах (водных р-рах кислот или щелочей) — наиболее распространённый и универсальный способ создания оксидных плёнок толщиной 1—250 мкм,
напр. для получения диэлектрич. слоев в электролитич., оксидио-по л у проводниковых и оксндно-металлич. конденсаторах, антикоррозионных и декоративных покрытий, грунтовых слоев под лакн и краски.
А. в расплавах солей (с темп-рой эвтектики 250—800 К) применяют при создании диэлектрич. плёнок толщиной 20—400 мкм для конденсаторов и электроиэо-ляц. пленок повыш. твёрдости.
А. в газоразрядной плазме тлеющего разряда, служащей источником ионов кислорода, проводится при давлении 1—100 Па и хорошо сочетается с операциями пленарной технологии. Иногда А. проводится в газовой плазме высокочастотного разряда. Таким способом получают тонкоплёночиые элементы ИС, формируется межкомпонентная изоляция микросхем.
Плазменн о-э лектролитическое А. проводится в парогазовой атмосфере (при давлении 10*—10J Па) с большим содержанием ионов кислорода- Таквя атмосфера образуется в результате интенсивного испарения электролита водного р-ра кислот или щелочей под воздействием электрич. разряда между электродами, один из к-рых (обычно катод) находится в электролите, а другой (анод, т. е. анодируемое изделие) — над ним вне электролита. Плаэменно-злектролитнч. А. применяют для получения диэлектрика в высоковольтных и прецизионных конденсаторах, создания антикоррозионных покрытий, при подгонке в номинал керметиых резисторов и т. д.
Анодирование