ВАКУУМ (от лат. vacuum — пустота), среда, представляющая собой газ при давлении меньше атмосферного. Понятие «В.» применяется к газу в замкнутом сосуде, но нередко оно распространяется и на газ в свободном пространстве, напр. в космосе.
Физ. процессы в В. зависят от соотношения между ср. длиной свободного пробега К ч-ц газа (молекул, атомов) и размером d, характерным для каждого конкретного прибора или процесса (расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстов-ние между электродами ЭВП и т. п.). В зависимости от соотношения между And различают низкий В. (A.<§Cd), средний (A.-*-d) и высокий (A.!^>d). В обычных вакуумных установках и приборах (d;%fO см) низкому В. соответствует давление р:>10 Па, среднему — от 102 до 10"-1 Па, высокому — от 10~~' до 10^—* Па.
В низком В. са-аа газа определяются частыми столкновениями между ч-цами, сопровождающимися обменом энергией. Явления переноса низком В. (теплопроводность, диффузия, внутр. трение) характеризуются плавным изменением (или постоянством) градиента переносимой величины. При этом переносимое кол-во тепла или в-ва не зависит от давления. При прохождении тока в низком В. определяющую роль играет ионизация газа.
В высоком В- св-ва газв определяются столкновениями ч-ц со стенками. Ч-цы движутся прямолинейно, не сталкиваясь между собой, и кол-во переносимого тепла или в-ва пропорционально давлению. Прохождение тока в высоком В. возможно только в результате испускания эл-нов и ионов электродами. Ионизация молекул (или атомов) газа в высоком В. существенна только в тех случаях, когда длина пробега заряженных ч-ц становится значительно больше расстояния между электродами (напр., при движении ч-ц по сложным траекториям в магн. поле). Св-ва газа в среднем В. являются промежуточными между его св-вами в низком и высоком В. Существует также понятие сверхвысокого В. (р<10 Па), к-рое связано не с величиной отношения k/d, а со временем т, необходимым для образования мономолекулярного слоя гвза на поверхности твёрдого тела, помещённого в В. и первоначально свободного от адсорбир. газа- Величина т обратно пропорциональна давлению р. При р<10 Па т может превышать неск. десятков секунд. Примером сверхвысокого В. может служить атмосфера Земли иа высоте са. 200 км.
В. является рабочей средой во мн. электронных приборах и устр-вах. Для создания В. а таких приборах производят вакуумироаание рабочего объёма (см. Откачка), длв поддержания В. в готовых приборах предусмотрены спец. газопоглотители (геттеры). В. используется в качестве технологич. среды при напылении плёнок, очистке в-в от примесей, выращивании кристаллов и др.
Вакуум