ВАКУУМНЫЙ НАСОС. устройство, предназначенное для удаления газов и паров из замкнутого объёма с целью получения вакуума. По принципу действия различают механич., пароструйные, сорбциоиные и криогенные В. н. В зависимости от диапазона давлений, обеспечиваемого В. н., различают ннзковакуумные (от 10° до 102 Па), среднее аку умные (от Юг до 10~' Па), высоковакуумные (от 10~ до 10 Па) и сверхвысоковакуумные (св. 10 Па) насосы .
Осн. эксплуатац. параметры В. н.: предельное давление (остаточное давление или предельный вакуум), к-рое может быть обеспечено насосом; быстрота откачки — объём газа, откачиваемый при данном давлении в единицу времени; допустимое (наибольшее) выпускное давление на выходе насоса, дальнейшее повышение к-рого нарушает нормальную работу насоса, а также состав остаточной атмосферы.
Механические В. н. бывают вращательные, двухро-торные и ту рбомо л окулярные. Среди вращательных В. н. наибольшее распространение получил пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением. Всасывание и выталкивание газа в таком В. н. осуществляется прн изменении объёмов ячеек, образованных эксцентрично расположенным ротором, в прорезях к-рого помещены подвижные пластины. Уплотнение зазоров между деталвми В. н., а также частичное его охлаждение обеспечиваются маслом. Для откачки парогазовых смесей с большим
Вакуумный конденсатор Конструкции ваиуумныв идансаторов а — постоянной емкости б пе ременной ёмкости I обила дни 2 — основания J — выводы 4 — вамуумно плотная ндолвционнея оболочка 5 — стакан б — цилиндрическая не-равляюидая 7 — «тулке 8 регулировочным вннт 9— металлический снльфон
содержанием паров воды в пластинчато-роторном В. н. используется гаэобалластное устр-во, к-рое позволяет предотвращать конденсацию паров воды за счет заполнения камеры насоса определённым объёмом воздуха (балластным газом). Двухроторный В. н. состоит из двух фигурных роторов, к-рые при вращении создают в камере насоса направленное движение газа. Такие В. н. обладают достаточно большой быстротой откачки, однако для их работы требуется предварит, разрежение "НО"1 Па В турбомолекулярном В. н. используется преимуществ движение молекул газа в направлении его откачки при вращении ротора, состоящего из дисков . Использование таких В. н. позволяет получать предельное разрежение до 10~7 Па при практически базмасляной остаточной атмосфере.
Пароструйные В. н- разделяются на диффузионные (высоковакуумные) и бустерные. Действие пароструйных В. н. оси на захвате ч-ц откачиваемого газа струёй пара. В таких насосах пар образуется в результате нагрева рабочей жидкости (в основном вакуумного масла) в кипятильнике, к-рый расположен я ннж. части В. н Диффузионные В. н предназначены для получения остаточного давления до 10 Па и ниже. Бустерные насосы эффективны в диапазоне двнлений 10—10 Па, что обусловлено высокой мощностью подогревателей, а также использованием летучих масел.
В сорбционных В. н. действие осн. на способности сорблитое (напр., Ti, Mo) поглощать газ. В таких В. н. ннутр. поверхность камеры покрывается либо плёнкой химически активного металла (геттерный В. н.), либо слоем пористого адсорбента (адсорбционный В н.). Для удаления инертных газов, к-рые практически не поглощаются плёнками металлов, применяют я основном геттерно-нон-ные насосы. Наибольшее распространение среди геттерно-нонных В. н. получили магниторазрядные насосы, в к-рых сорбционный способ поглощения химически активных газов сочетается с ионным способом откачки инертных газов и углеводорода (их ионизацией сильным электрич. разрядом и удалением ионизир. молекул магн. полем) В таком В. н. анод представляет собой набор ячеек, на к-рых осаждается геттер (я основном Ti), распыляемый с катодов. В магниторазрядном В. и. газовый разряд я диапазоне рабочих давлений 10-1—10-8 Па поддерживаете я магн. полем с напряжённостью 5,6-10*—1,2-10 А/м. В
сорбционных В. и. быстрота откачки зависит от того, какой газ откачивается. Напр., быстрота откачки водорода — 5000 л/с, азота — 2000 л/с, аргона — 50 л/с.
Действие криогенных В. н. осн. на поглощении газа поверхностью, охлаждённой до низкой (криогенной) темп-ры. Различают криогенные В. н. заливного типа и с автономным холодильным устр-еом. В. н. заливного типа содержит ёмкость, заполненную хладагентом (обычно Н). н защитную емкость, заполненную жидким N (т. н. азотный экран), на поверхности к-рых конденсируются молекулы откачиваемого газа. В. н. с автономным холодильным устр-вом содержит газовую холодильную машину (обычно с темп-рными уровнями от 70 до 100 К). Для получения сверхвысокого вакуума применяются криосорбционные В. и., к-рые представляют собой криогенные насосы с тонкой плёнкой сорбента на внутр. поверхности камеры.
В электронном приборостроении В. н. обычно используют в составе вакуумных агрегатов (конструктивно объединяющих в единое целое В. и., вакуумные клапаны, ловушки, реле, трубопроводы и др. устр-ва) для создания вакуума, я разл. технологич. установках и я электровакуумных приборах .
Вакуумный насос